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【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高精度な動作が可能な真空用ウエハ搬送ロボット
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
【～300ｍｍウエハ用】450WPHの高速搬送！ 装置のスループット向上に貢献するウエハ搬送ロボット
■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の 半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。
【～300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送！ 装置スループットの大幅な向上を実現、高速・低振動ダブルアーム真空ロボット
■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！ さまざまな装置レイアウトに対応するウエハ搬送ロボット
■走行軸無しで広範囲へ動作するウエハ搬送ロボット ■横方向2.7m・高さ方向1.6mの広範囲にアクセスするため、 さまざまな装置レイアウトに対応 ■ロボット1台で4FOUPにアクセス。最大8FOUPにアクセス可能。 ■ダブルアーム機構により、ウエハ同時入替動作が可能で省スペース化と スループット向上が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300ｍｍウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能！ 保護等級IP64を実現した防滴モデルのウエハ搬送ロボット
■保護等級IP64を実現。水分を扱うプロセスでの使用が可能な防滴モデル。 ■特殊な薬液に対応した表面コーティングにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減！ 電力線通信技術を搭載したウエハ搬送ロボット
■高速電力線通信技術を利用した配線設計により、従来機に比べ ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減し、ケーブル断線リスクが低減。 ■在荷センサ・マッピングセンサ・スライド軸等、多彩なオプションをラインアップ。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット！
■マスク、サセプタ、トレイ等の重量物を搬送可能な高可搬型シングルアーム真空ロボット ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通信技術により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を削減
■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、 反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、 レチクル搬送が可能。 ■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジクランプ方式・ベルヌーイ方式の 3種に対応可能。 ■ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅な低減を実現した高精度シングルアーム真空ロボット
■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングルアーム真空ロボット
■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スーパークリーンルームや食品工場などのクリーン環境に適した高性能・高信頼性の6軸ロボットです。
RX160クリーンルームロボットはクリーンルーム環境や衛生性が求められる食品工場など発塵が許されない厳しい環境条件に対応するという目的から生まれたロボットで、優れた処理能力と高い信頼性も兼ね備えています。 24時間/日、7日/週という稼働条件において、その信頼性の高さが市場で実証されています。 【特徴】 ○密閉構造 ○高剛性構造 ○複数の設置方法 ○ストーブリ独自の減速ギア(特許取得) ○広い動作範囲 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
より軽く、より便利に！オプションのバッテリー使用によりアクティブに作業をこなす事が可能！
当社が取り扱うカスタマイズ移動ロボット『Actibo』をご紹介します。 半導体製造工程におけるウエハーの搬送作業の自動化が可能。オプションの バッテリー使用によりアクティブに作業をこなす事ができます。 「UReシリーズ」は、DC OEMコントロールボックスを搭載しており、15kgから わずか5kgに軽量化しています。 【特長】 ■より軽く、より便利 ■オプションのバッテリー使用によりアクティブに作業をこなす事が可能 ■半導体製造工程におけるウエハーの搬送作業を自動化 ■工作機械におけるワークの搬送とセッティングが可能 ■自動車製造などで部品棚から部品を集める工程などに好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
離れた場所への荷物搬送や作業が可能！AMR搭載のユニバーサルロボット
『Actibo』は「MiRシリーズ」と「UReシリーズ」がコラボレーションした カスタマイズ移動ロボットです。 半導体製造工程におけるウエハーの搬送作業の自動化をはじめ、 工作機械におけるワークの搬送とセッティングや、自動車製造などで 部品棚から部品を集める工程などに好適。 オプションのバッテリー使用で、よりアクティブに作業を行うことが可能です。 【特長】 ■進行方向にある物や人を独自で回避 ■AMR搭載のユニバーサルロボット ■離れた場所への荷物搬送や作業、人が近寄れない場所などへの作業が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
